2022年1月3日🫲🏿，微電子學院碩士研究生季宇成等同學在AIP Advances上發表了一篇題為“A micro-thin-film getter–heater unit for high vacuum capsulation of MEMS devices”的研究論文。

該論文研究了MEMS器件高真空封裝用薄膜吸氣劑的隨時激活技術⤴️。針對MEMS器件高真空封裝時吸氣劑的激活困難以及封裝後真空腔內真空度降低等問題🤘🏿，作者提出了一種新的吸氣劑激活方式：將薄膜吸氣劑集成在一個微型薄膜加熱器上，通過向微加熱器通電（比如🚣🏿，2V的定電壓），就可以隨時把吸氣劑加熱到激活溫度。這種方式不僅避免了吸氣劑激活時間點和激活次數的限製，也避免了傳統的整體激活方式對吸氣劑以外器件的熱損傷🧝🏿‍♂️👨‍👦。此集成單元可以用MEMS工藝製造🍚，可以與MEMS器件一起進行晶圓級封裝🎽，適合量產🛖。這一研究為需要吸氣劑的高真空封裝和真空腔內真空度維持提供了一種新技術，還可以大大延長MEMS器件的使用壽命。

該工作在上海微技術工業研究院8寸MEMS研發中試線完成，由季宇成與馮劉昊東、郭松📞、彭鑫林、陳朔等同學協作完成🌔。他們的指導教師是微電子學院聯聘導師、上海微技術工業研究院副總經理王詩男博士。該研究將作為一個攻關課題在國家重點研發計劃“智能傳感器”重點專項中進一步展開✊🏽，作者決心將其打造成可應用到MEMS產品的一項特色工藝。（撰稿：黃帥；攝影：張成明）